隨著先進封裝技術不斷升級，芯片結構日益精密復雜，對AOI檢測的精準度、全面性提出了更高要求。檢測環節的瓶頸，往往成為制約封裝良率提升的關鍵。

在先進封裝AOI檢測中，這些難題是否讓您備受困擾？

晶圓上的微小缺陷，如何在復雜環境下清晰識別？

切割后的各類晶圓結構，怎樣全面檢測無遺漏？

不同類型的 Bump，其高度和共面度如何精準把控？

RDL的細微尺寸偏差，如何在快速檢測中精準捕捉？

華屹先進封裝AOI檢測設備：Athena HS4500由Robot、2D檢驗、3D測量三部份組成。

是專為先進封裝市場設計，在同一平臺上實現 2D和3D檢測和測量，同時滿足極高的性能和效率水平。

核心功能亮點：

1. 晶圓缺陷全面檢測

涵蓋裸晶圓及切割后晶圓等多種狀態，對各類常見缺陷進行有效識別與檢測。

2. Bump精準量測

支持多種 Bump類型，實現高度與共面度的精準檢測和測量。

3. RDL全面管控

可對 RDL CD、高度及表面缺陷進行檢測，支持最小2x2μm L/S。

更多前沿技術細節與落地應用案例，

期待展會現場與您深度交流！

9月4-6日

第十三屆半導體設備與核心部件及材料展

Athena HS4500首次亮相

誠邀蒞臨！