在半導體3nm制程工廠的潔凈車間里，一臺OHT（Overhead Hoist Transport）天車正懸掛在軌道上高速行駛。當即將抵達目標機臺時，它突然減速——并非接到中央系統指令，而是收到前方10米處小車發出的臨時變道信息同時傳感器也檢測到了前方的小車，于是，它自主規劃出一條繞行路徑，同時將決策同步給周邊設備；在抓取晶圓載具（FOUP）時，振動傳感器捕捉到微米級振動，邊緣控制器立即通過動力學優化調整夾爪，確保晶圓零損傷。這不是科幻場景，而是格創東智OHT天車智能體（OHT Agent）的日常操作。

當邊緣計算、多模態傳感感知與AI算法深度融入傳統天車，半導體物流的“空中搬運工”正升級為具備環境感知、自主決策、自我進化能力的智能體，重新定義著AMHS（自動化物料搬運系統）的效率與可靠性邊界。

一、從“執行終端”到“智能體”：

OHT天車的進化邏輯

傳統OHT天車本質是“中央控制系統的執行終端”：依賴MCS（物料控制系統）和OHTC（智能天車控制系統）下達的固定任務和固定路徑指令，通過簡單傳感器完成定位，故障處理完全依賴人工排查。這種模式在先進制程工廠中逐漸暴露短板——3nm產線需處理每天超10萬次晶圓搬運任務，設備響應延遲1秒就可能導致機臺效率下降；晶圓厚度降至50μm時，0.5G的振動就會造成裂片，而傳統天車的機械誤差已逼近工藝極限。

格創東智OHT天車智能體的突破在于構建“感知-決策-執行”閉環，讓天車從“被動執行”變為“主動協同”。 

●感知層：通過激光雷達、視覺相機、溫度傳感器等，實時捕捉軌道狀態、周邊設備、自身機械性能等多維度數據；

●決策層：邊緣控制器本地化處理數據，結合AI算法自主生成最優路徑、動態調整運行參數；

●執行層：OHT操作系統實時進行動作控制，配合力反饋裝置完成柔順操作。

二、傳感器矩陣：

智能天車的“五感系統”

OHT天車的智能體化，始于對環境與自身的“全知全能”。格創東智為天車打造的完整傳感器矩陣如同為其裝上 “眼睛、耳朵和神經末梢”，同時，每一款傳感器都針對半導體潔凈室環境進行了特殊優化。

環境感知傳感器

●激光雷達：安裝在天車前端上下兩處，可識別10米外直徑0.5mm的異物（如脫落的螺絲），測距精度達±2mm，為路徑規劃提供實時障礙物數據；

●視覺相機+AI識別：高速工業相機配合深度學習算法，精準識別軌道標識、機臺Load Port位置，定位誤差≤0.1mm，即使在潔凈室燈光變化下仍保持穩定識別；

●無線通訊傳感器：天車上安裝不依賴WiFi的無線通訊傳感器，讓天車和天車之間在某個范圍內局部組網，實現高效、安全的本地決策。

設備狀態感知傳感器

●電流/電壓/溫度傳感器：實時監測電機運行參數，當電流波動超±5%或溫度升至60℃時，自動降低負載并通知調度系統，避免突發停機；

●力反饋傳感器：集成在FOUP抓取機構，檢測抓取力（精度±0.1N），當載具輕微變形時，動態調整夾持力度，防止晶圓滑移。

●慣性傳感器（IMU）：實時監控小車的運動姿態，邊緣控制器依據IMU數據以毫秒級別的頻率對小車運行狀態進行實時調節。

三、邊緣控制：

智能天車的“小腦”，實現本地化實時決策

如果說傳感器是“五感”，邊緣控制器就是天車的“小腦”——在本地完成數據處理與決策，擺脫對中央系統的依賴，這是智能體化的核心突破。

●低延遲決策：傳統天車的路徑調整需經“傳感器→天車→OHTC→天車”鏈路，延遲常超100ms。邊緣控制器將處理節點部署在天車本地，數據處理延遲壓縮至10ms以內。

●離線自治能力：當AMHS中央網絡中斷時，傳統天車會立即停機。而邊緣控制的天車可通過傳感器監測自身狀態，以及無線通信傳感器和周邊天車形成的局部網絡，基于本地存儲的軌道地圖與任務隊列，繼續執行已接收的搬運指令。

●能耗優化：邊緣控制器結合實時任務量與設備狀態，動態調整運行參數。比如空載返程時，自動降低電機轉速以減少能耗；根據軌道坡度提前調整驅動力矩，避免急加速/急減速，既降低振動，又節省能耗。

四、AI算法：

智能天車的“大腦”，驅動自主進化

傳感器與邊緣控制構建了智能體的“硬件基礎”，而AI算法則賦予其“思考能力”，實現從“數據到決策”的跨越。

●動態路徑規劃：基于強化學習訓練的路徑算法，可實時優化行駛路線。當某區域天車密度超閾值時，自動引導新任務天車繞行，避免形成“空中堵車”；通過分析周邊天車的運行軌跡，提前預判潛在沖突并進行“預測性避讓”。

●故障預測與健康管理：通過機器學習模型分析傳感器歷史數據，構建設備健康度評估體系。比如對驅動電機的振動數據進行頻譜分析，識別早期故障特征；基于歷史維護記錄與運行參數，自動生成個性化保養計劃，提高平均無故障運行時間（MTBF）。

●群體智能協同：多臺天車通過邊緣節點的分布式協同算法，實現群體優化。當某區域天車負載過高時，自動將部分任務調度至空閑天車；當某臺天車突發故障時，周邊天車自動分擔其未完成任務，并調整路徑避開故障區域，確保產線物流中斷。

與此同時，格創東智與香港大學強強聯合，成立工業AI聯合實驗室，持續探索調度算法、智能體應用等，將加速OHT天車智能體的進化。

五、從“智能單機”到“智能網絡”：

重塑半導體物流生態

當OHT不再只是“跑得快”，而是“看得見、想得快、算得準”，它就從軌道上的搬運工升級為產線里的智能體。格創東智OHT天車智能體的價值不止于單臺設備的性能提升，更在于通過“設備互聯+數據互通”構建智能物流網絡，與格創東智CIM系統深度融合，為半導體工廠帶來系統性變革：

●良率提升：因搬運導致的晶圓污染率、振動相關裂片率都會降低，從而提升晶圓良率；

●效率優化：天車系統整體吞吐量提升，機臺等待物料時間減少，晶圓年產能增加；

●成本降低：預測性維護使維修成本下降，能耗優化年節省電費超百萬元；

●柔性升級：支持8吋/12吋晶圓混線生產的動態調度，縮短產線切換時間。

未來，隨著數字孿生、5G通信、更先進AI模型的融入，格創東智OHT天車智能體將實現更高階的能力——例如通過數字孿生模擬不同調度策略的效果，提前優化路徑；結合工廠能源管理系統，在用電高峰自動調整運行節奏，平衡生產與能耗。這場“空中搬運工”的智能革命，正成為半導體制造業邁向“黑燈工廠”的關鍵一步，而格創東智將持續以 “AI+CIM+AMHS” 整體解決方案，重新定義智能制造的效率邊界，助力中國半導體產業實現自主可控高質量發展。