• 關鍵詞：TELEDYNE,DALSA,MEMS,運動傳感器
• 摘要：Teledyne DALSA通用的慣性傳感器平臺是我們的MEMS工具箱中的一個子集，是為加速度計，陀螺儀和慣性測量單元（IMU）配備的。

MEMS應用

從手機的RF芯片，通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀，汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫療系統用的微流體器件，Teledyne DALSA都已經量產，并且為這些創新的MEMS應用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯系我們，討論MEMS制造的挑戰 Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS應用： 壓力傳感器　　運動傳感器　　BioMEMS　　微鏡　　硅通孔　　射頻MEMS

運動傳感器

>>動作感應速度計，陀螺儀

加速度計，陀螺儀和慣性測量單元

近年來，MEMS運動傳感器已被廣泛應用在手持設備和汽車里，這種趨勢將進一步加快和多樣化，因為設計和制造商已經發現這些器件的潛力。

Teledyne DALSA通用的慣性傳感器平臺是我們的MEMS工具箱中的一個子集，是為加速度計，陀螺儀和慣性測量單元（IMU）配備的。這其中關鍵的制程模組包括 深反應離子刻蝕（DRIE）, 聚合物硅通孔（poly thru-silicon vias）, 和晶園鍵合 –包括為實現高Q值陀螺儀的真空下晶園鍵合。我們 特有的研磨和CMP技術使得我們不再需要昂貴的SOI晶園。我們的制程是為完全的晶園級封裝設計的，可以實現晶園級ASIC和MEMS硅片封裝，通過銅填充的硅穿孔（TSV）連接外部I/O接口。