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納米級旋轉：氣浮轉臺如何顛覆半導體與精密制造？

納米級旋轉：氣浮轉臺如何顛覆半導體與精密制造？

產品簡介：

AAR系列氣浮轉臺具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達1.14arcsec，重復定位精度可達0.61arcsec。此外，我們亦可提供定制化設計服務，根據客戶的具體要求進行產品優化。

產品分類：

電機 其它

品牌：

雅科貝思

產品介紹


氣浮轉臺

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核心組件：

  • 電機：作為動力源，驅動轉臺旋轉，通常采用無框力矩電機。

  • 氣浮軸承系統：通過高壓氣體在轉臺底部形成空氣墊，實現無接觸支撐，減少摩擦。

  • 光柵及讀頭：檢測并反饋回轉角度，是實現高精度定位精度、重復定位精度、靜態抖動的基礎。

  • 回轉臺面或Chuck：實現極小端面跳動&徑向跳動的支撐安裝面，其平面度&平行度會直接影響最終的跳動值。




氣浮軸承的結構分類



根據支撐方式可分為：“工”字形、“十”字形、錐形。

圖片2.png

其中，“工”字形和“十”字形承載能力大，但結構件數量多、整體尺寸更高；錐形結構簡單、高度尺寸小，但相應的承載能力和氣浮剛度低。



氣浮轉臺的優勢



相比于機械轉臺，氣浮轉臺的優勢為：


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軸線徑向、軸向跳動，擺動圖示

無摩擦運動



氣浮軸承支撐消除機械接觸，減少磨損，延長使用壽命。


隨機位置坐標觸發



軸向/徑向回轉精度＜±20nm，定位精度＜±1.1arcsec，雙向重復定位精度＜±0.1 arcsec，靜態抖動＜±0.3arcsec，擺動＜0.5arcsec。

*（此為特定條件下的樣機測試精度，具體歡迎咨詢我們的技術專家。）


低振動與噪聲



氣浮技術顯著降低運動中的振動干擾，適用于超精密環境。




應用場景



微信截圖_20250421092500.png

■ 半導體工業：

晶圓切割、晶圓檢測、晶圓研磨/減薄設備；

■ 光學制造與檢測：

工業CT、激光加工、光纖對準、超精密車床、五軸加工中心、激光反射鏡等元件的精密加工與角度標定；

■ 精密測量：

光學輪廓儀、圓柱度儀、結合多軸運動臺實現三維空間內的高分辨率位移檢測；

■ 科研實驗：

如量子計算設備中的超低溫環境運動控制，或材料力學性能測試；

■ 航空航天：

航空發動機葉片加工與檢測、衛星姿態控制測試、慣性導航設備測試及校準等；

■ 醫療：

CT、MRI醫療影像設備中，氣浮轉臺用于承載和旋轉掃描部件。



 AAR系列氣浮轉臺



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關鍵技術指標：

1.     軸線&徑向回轉精度：

  • AAR150、AAR200軸線&徑向回轉精度＜0.1μm；

  • AAR250、AAR300軸線回轉精度＜0.1μm，徑向回轉精度＜0.25μm。

2.     角擺：

  • AAR150角擺＜2arcsec；

  • AAR200角擺＜0.7arcsec；

  • AAR250、AAR300角擺＜0.5arcsec。

3.     定位精度&重復定位精度：

AAR系列氣浮轉臺具備卓越的定位性能，其最高定位精度可達1.14arcsec，重復定位精度可達0.61arcsec。該系列提供多種標準型號，包括AAR150、AAR200、AAR250及AAR300，以滿足不同應用場景的需求。此外，我們亦可提供定制化設計服務，根據客戶的具體要求進行產品優化。
（注：上述性能指標基于樣機在特定測試環境及條件下測得，具體測試參數與詳細信息請咨詢我們的工程師。）


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電話：021-58595800

官網：www.akribis-sys.cn



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