康泰克 CONTEC

溫度監(jiān)測方案

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，追求更高良率與更嚴(yán)苛的工藝控制時(shí)，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高精度且穩(wěn)定可靠的溫度監(jiān)測是一大核心挑戰(zhàn)，但這一過程常飽受諸多如下痛點(diǎn)困擾。

1、通道密度不足，復(fù)雜設(shè)備需部署上百測溫點(diǎn)，傳統(tǒng)方案擴(kuò)展性差、布線復(fù)雜。

2、精度與可靠性隱患，外部冷端補(bǔ)償(CJC)傳感器易引入誤差，威脅工藝一致性。

3、系統(tǒng)集成成本高，專用DAQ系統(tǒng)昂貴，自研驅(qū)動周期長、風(fēng)險(xiǎn)大。

4、擴(kuò)展維護(hù)困難，現(xiàn)有系統(tǒng)難隨工藝升級靈活擴(kuò)展，維護(hù)成本高。

Part 1.康泰克直面挑戰(zhàn)

 推出針對性解決方案 

專為半導(dǎo)體制造優(yōu)化的4通道熱電偶HAT擴(kuò)展板CPI-SSI-4C，基于Raspberry Pi? HAT標(biāo)準(zhǔn)打造的工業(yè)級溫度采集核心組件，旨在高效、經(jīng)濟(jì)地解決上述痛點(diǎn)，構(gòu)建未來就緒的溫度監(jiān)測系統(tǒng)。

Part 2.痛點(diǎn)破解之道

CPI-SSI-4C核心優(yōu)勢

提問：通道密度不足？

回答：極簡構(gòu)建32通道高密度系統(tǒng)

單Raspberry Pi?主機(jī)可堆疊8塊 CPI-SSI-4C，無縫擴(kuò)展至32熱電偶通道；兼容J, K, E, N, R, S, T等主流熱電偶，滿足從低溫到高溫的多樣化工藝測溫需求；HAT設(shè)計(jì)極大簡化物理連接與布線，顯著節(jié)省控制柜空間，輕松覆蓋復(fù)雜設(shè)備的多點(diǎn)監(jiān)測需求。降低系統(tǒng)復(fù)雜度，提升空間利用率，快速響應(yīng)大規(guī)模測溫需求。

提問；精度漂移與可靠性隱患？

回答：集成式高精度CJC與工業(yè)級設(shè)計(jì)

板載精密溫度傳感器實(shí)現(xiàn)自動、高精度冷端補(bǔ)償(CJC)，徹底消除對外部CJC傳感器的依賴；減少接線點(diǎn)與潛在故障源，從源頭提升長期測量穩(wěn)定性與數(shù)據(jù)可靠性；元器件選型與電路設(shè)計(jì)遵循工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保在半導(dǎo)體設(shè)備嚴(yán)苛環(huán)境下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。保障關(guān)鍵工藝溫度數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與可信度，減少因測溫誤差導(dǎo)致的批次異常和良率損失。

提問:系統(tǒng)集成復(fù)雜度高？

回答:成熟Linux驅(qū)動與專業(yè)API

提供開箱即用、穩(wěn)定可靠的Linux驅(qū)動程序及API-SSI (LNX)應(yīng)用編程接口；開發(fā)團(tuán)隊(duì)可基于此快速構(gòu)建定制化的溫度監(jiān)測、超限報(bào)警、數(shù)據(jù)記錄與閉環(huán)控制應(yīng)用，大幅縮短開發(fā)周期；API設(shè)計(jì)簡潔高效，降低集成難度與后期維護(hù)成本。加速系統(tǒng)部署，降低開發(fā)風(fēng)險(xiǎn)與總擁有成本(TCO)，釋放工程師生產(chǎn)力。

提問:維護(hù)與可擴(kuò)展性？

回答:模塊化、標(biāo)準(zhǔn)化、靈活擴(kuò)展

基于Raspberry Pi? 生態(tài)的開放性與CPI-SSI-4C的模塊化設(shè)計(jì)，支持按需增購板卡，輕松擴(kuò)展通道數(shù)；標(biāo)準(zhǔn)HAT接口與統(tǒng)一驅(qū)動，確保新舊模塊無縫兼容，簡化維護(hù)與升級。提供面向未來的可擴(kuò)展性，適應(yīng)工藝迭代需求。

Part 3.量身定制

賦能半導(dǎo)體關(guān)鍵制程

薄膜沉積(CVD/PVD)/擴(kuò)散爐的多區(qū)域溫場監(jiān)控，保障薄膜均勻性與摻雜濃度；優(yōu)化蝕刻/清洗設(shè)備的反應(yīng)腔與管路溫度，提升工藝選擇比；減少晶圓測試探針臺熱應(yīng)力導(dǎo)致的測試誤差；設(shè)備溫度趨勢分析實(shí)現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)，提升OEE。

立即聯(lián)系康泰克技術(shù)團(tuán)隊(duì)，獲取詳細(xì)規(guī)格書與應(yīng)用案例，探討如何為您的關(guān)鍵設(shè)備部署高可靠溫度監(jiān)測解決方案！

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