應用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設備】清洗機/CDS/SDS

【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

應用場景

通過側窗導管顯示液位的情況，并對液位進行限制。

解決課題

1、按照生產要求，需要至少對四個液位位置（上限位置、供給停止位置、供給開始位置、下限位置）進行判定。

2、檢測液位上下限的要求不同。

價值提案

核心產品：光纖傳感器E32-A01/A02（卡管型）、光纖放大器E3NX-FA

■小型卡管式安裝，快速部署四個液位位置的檢測。

■考慮到斷線時的安全，備有有液體狀態(tài)（A01）和無液體狀態(tài)（A02）下的入光兩種類型。

相關產品

光纖傳感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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