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歐姆龍成功事例 | 對強腐蝕性有機溶劑進行液位檢測的方案

歐姆龍成功事例 | 對強腐蝕性有機溶劑進行液位檢測的方案

應用介紹

【行業】SEMI

【設備】清洗機/CDS/SDS

【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

 

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應用場景

對儲液罐(tank)的液位進行檢查。

 

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解決課題

部分有機溶液(氫氟酸)具有腐蝕性,無法使用透明玻璃管顯示液位。


價值提案

核心產品:光纖傳感器E32-D82F1(接液型)、光纖放大器E3NX-FA

接液型光纖傳感器可部署于儲液罐(tank)內直接接觸液體測量

200℃的耐熱性并有氟樹脂涂層,耐化學性強,滿足清洗槽溫度和腐蝕要求,實現對有機溶液的液位檢測

 

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相關產品

光纖傳感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

 

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光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

 

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若您對本產品感興趣,歡迎掃碼留下您的聯系方式,歐姆龍工程師將盡快與您聯絡!

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李娜
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