歐姆龍成功事例 | EFEM多材質晶圓的凸出檢測方案
2025/6/26 21:56:13
應用介紹
【行業】SEMI
【設備】EFEM
【用途】用于半導體前道各種工藝機臺的晶圓傳輸
使用場景
檢測cassette內wafer是否有凸出，防止自動取片時發生異常。
場景：cassette內wafer的突出檢查
解決課題
應對不同材質wafer的檢測需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。
價值提案
核心產品：光纖傳感器 E32/E3NX-FA
配備自動調諧、以及APC&DPC自動投光&受光校正，方便快速對應各種透明度的wafer。
相關產品
光纖傳感器E32系列
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/
智能光纖放大器E3NX-FA
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/
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審核編輯(
李娜
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