SEMI F47標準：

半導體制造設備的電壓暫降防護基準

SEMI F47 Standard:

Semiconductor Processing Equipment Voltage Sag Immunity

“2022年7月27日，臺灣媒體報道，臺灣某科學園區發生電力瞬間電壓下降情況，造成園區內某半導體制造工廠受到影響。雖然事后涉事廠商出面澄清，該科學園區的電壓暫降事件沒有造成完全停電，生產也已逐步恢復。但有爆料稱，該工廠5nm及4nm產線仍出現晶圓報廢的情況。”

在半導體行業，電力供應的穩定性對生產至關重要。尤其是在晶圓制造過程中，電壓暫降可能直接影響光刻機，化學機械拋光（CMP）以及刻蝕工藝等晶圓生產設備，微小的電壓波動都可能導致生產設備發生故障甚至停工，導致整批晶圓報廢，帶來數億美元的經濟損失。為了解決這個問題，1999年，國際半導體設備和材料產業協會（SEMI），制定了SEMI F47標準，以規范半導體生產設備對電壓暫降（Voltage Sag）的耐受能力。

SEMI F47標準規定，半導體制造設備必須在特定的電壓暫降情況下仍能保持正常運行。例如，50Hz條件下，當供電電壓降至標稱值的50%時，設備應能維持至少0.2秒的運行（10 cycles）；電壓降至70%時，設備應持續運行0.5秒（25 cycles）；電壓降至80%時，設備應能夠支撐至少1秒（50 cycles），具體如下圖表所示。這一標準的實施，極大地提高了半導體生產設備抵抗電網波動的能力，確保了半導體制造工藝的連續性。

鳴志M5交流伺服：符合SEMI F47標準，確保半導體設備穩定運行

在半導體生產設備中，交流伺服驅動器與電機作為執行系統的關鍵零部件，已得到廣泛應用。針對半導體行業對電壓暫降防護的嚴格要求，鳴志（MOONS'）重磅推出了符合SEMI F47標準的M5交流伺服系統，通過創新設計與性能優化，成為少數符合SEMI F47標準的國產伺服產品。M5交流伺服系統采用寬電壓輸入設計，并集成了電壓暫降補償技術，能夠有效抵抗電壓波動，為半導體設備提供了高可靠性解決方案，助力實現生產零中斷。

M5交流伺服系統的領先優勢：

一、符合SEMI F47-0706標準

M5系列交流伺服系統已通過SGS-CSTC標準技術實驗室( Laboratory of SGS-CSTC Standards Technical Services )權威測試，M5交流伺服均順利通過了SEMI F47-0706標準認證，滿足半導體生產設備的要求，對于其他需要抵抗電壓暫降、滿足連續運行的設備場合，如光伏、鋰電、3C電子、醫療等行業，滿足SEMI F47標準的M5交流伺服系統也將成為設備穩定運行的可靠方案。

二、 安全功能與快速響應 

STO（安全轉矩關閉）：硬件級保護機制可在電壓異常時瞬間切斷功率輸出，避免設備損壞，同時通過UL Solutions SIL3/PLe/Cat4功能安全認證，符合IEC 61508等國際標準。

3.5kHz高速響應：基于26位高精度編碼器與先進算法，速度環帶寬達行業領先水平，確保在電壓恢復后迅速重載運行，減少生產停頓。

三、 寬電壓輸入與動態擾動補償機制

M5系列伺服驅動器支持AC220V/400V寬電壓輸入，功率范圍為50W-7500W,可適應不同區域和復雜電力環境，增強系統兼容性。并內置動態擾動補償功能，可實時抑制因電壓波動導致的電機換向誤差，確保在電壓暫降期間維持軌跡精度。

四、適用于半導體生產設備

尤其適用于光刻機、刻蝕設備、化學機械拋光（CMP）設備等對電源穩定性要求極高的半導體制造設備。