凱福 | 半導體清洗段案例分析
2024/3/20 16:41:55
【應用案例】
半導體行業EtherCAT總線驅控一體轉臺應用
凱福科技針對單晶硅片制造清洗工藝提出了驅動器+一體式旋轉平臺的方案。具有速度波動平穩，體積尺寸小等特點。
作為半導體制造工藝中的重要一環，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經受到嚴重的玷污，因此有一個很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。
凱福科技針對單晶硅片制造清洗工藝提出了SSDC集成式EtherCAT總線驅動器+YKW系列一體式轉臺的方案。具有尺寸更小，速度波動平穩等特點。
工藝流程圖
案例展示
方案優勢
驅控一體尺寸更小
速度更穩
審核編輯(
李娜
)
投訴建議
提交
查看更多評論
其他資訊
凱福科技YK-L4015精密電動微調臺
新品發布丨SD2-S系列光柵尺全閉環控制步進驅動器重磅推出
-eddab40804a14e5880ff5695eb3cc62a_w.jpg)
凱福科技YK-L6020精密電動微調臺
-896f7c2b4e914da4921114b00d1c6ae6_w.jpg)
凱福科技旋轉型精密微調臺YK-R40
凱福科技 PROFINET總線步進驅動器Y2SS3-PN