尼得科株式會社的集團公司尼得科儀器株式會社(舊日本電產三協)開發出了能夠在真空環境下工作的液晶基板搬運機器人,該機器人具有與在大氣環境下工作同等的關節自由度。

在液晶面板和有機EL等顯示器的制造工藝中,為了同時實現生產成本的削減和屏幕尺寸的大型化,不斷需要更大的母玻璃基板和更快的處理速度。由于可搬運的玻璃尺寸越大搬運效率就越高,因此近年來對3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬運需求不斷增加。母玻璃基板的薄膜處理、蒸鍍等工藝需要極高潔凈度的真空環境,因此,搬運機器人也必須具備能承受真空環境的性能。

尼得科儀器在用于有機EL基板蒸鍍工藝的搬運機器人領域中,全球市場份額名列前茅,本產品也充分運用了該專有技術。在真空環境下工作的機器人,其各個關節都內置了密封裝置,以防止空氣和灰塵等從機器人的機械臂等內部逸出,這往往是導致可動關節自由度降低的原因。為此,尼得科儀器產品采用了與減速機一體化的磁性密封件,可以將密封件的使用數量控制在最小范圍,確保了與大氣環境同等的自由度。為了滿足客戶的需求,產品線包括回旋鏢式和SCARA式兩種臂型,兩種臂型采用的是可以通用的單元,有效地控制了成本。

尼得科儀器作為全球頗具實力的綜合電機制造商的一員,今后將繼續為打造舒適的社會提供有益的解決方案。