歐姆龍高級溫控方案 | 多點化溫控，提升微細加工的生產品質，同時保持設備緊湊
2023/12/7 13:37:57
半導體逐漸微細化/積層化，生產流程也隨之逐漸復雜，溫度控制的重要性與日俱增。尤其是即使細微的溫度偏差和波動也會影響品質，因此最小化溫度控制幅度至關重要。此外，由于精度提高，設備內的溫度控制區域數量不斷增加，為確保設備占地面積保持不變，必須在控制柜內的有限設備空間中高效配置，兼顧生產品質和空間效率成為一大課題。
自動控制溫度波動，保障生產品質穩定
使用分辨率達到以往 10 倍、具備外部干擾抑制功能的高性能溫度控制單元（NX-HTC），最大程度降低溫度波動幅度。
使用外部干擾抑制功能自動調整操作量，實現更為精細的控制。
通過整合功能令外形更纖巧，實現緊湊的設備分散配置
實現高級溫度控制與多點設備整合的產品系列
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