LCI更新換代

Gocator? 5500系列3D智能線共焦傳感器

顏值和功能完美融合

內置全新的測量和檢測軟件，界面友好

亞微米級別精度

高速、高分辨率，雙軸光學設計

檢測不同材質

同時掃描多層、透明/半透明、曲面邊緣等表面

讓我們來聽聽LMI專家怎么說??

LMI Technologies打造全球尖端技術

從鏡面到漫反射材質

從透明到半透明材質

為消費電子，半導體制造等行業

提供一站式3D在線掃描和檢測方案

BGA引腳高度及半徑檢測方案

項目背景

隨著芯片技術的迭代，芯片產品的尺寸越做越小，引腳數量在不斷增加，對芯片檢測提出更高要求，傳統的人工檢測和普通的視覺檢測方式常常無法滿足生產需求，采用Gocator 3D智能線共焦傳感器對BGA引腳高度和半徑以及偏移、漏焊檢測具有重要意義。

檢測需求

測量芯片上引腳到基準面的高度和引腳的半徑。

測試方案

由于樣品高度變化范圍較小，使用更窄的Z向景深來獲取更高的頻率，并且設置更短的觸發間隔，實現更高的掃描速率。由于引腳數量較多，我們選一排針腳通過內置算法進行高度和半徑測量，并進行多次重復性測試，確保穩定的檢測結果。通過Gocator 3D線共焦傳感器搭載亞微米級的3D檢測平臺，可以滿足檢測需求。

產品選型

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器

檢測結果

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器清晰掃描BGA引腳，獲取引腳高度和半徑點云信息，重復性在 0.5微米以內。

解決方案優勢

Gocator? 5500系列3D線共焦傳感器掃描頻率高、觸發時間短，可實現最高達16KHz的超快掃描速率，兼容不同尺寸的BGA，并生成高質量的掃描圖，成像效果非常好，并且具有極高的重復性和穩定性。Gocator內置的軟件可實時對掃描結果進行較平、剖面和引腳輪廓提取等處理，并對高度和球徑等參數進行計算，及時規避因偏移和漏焊導致的缺陷發生。

更多Gocator在半導體行業的應用

Gocator 3D線共焦技術提供了一種非接觸式、高性能并且可擴展的一站式解決方案，可用于半導體材料、元器件和裝配過程中的精準3D測量&檢測。更多應用包括但不僅限于：

    *有圖案晶圓的大范圍檢測

    *多基板缺陷檢測和測量

    *大型和不規則形狀基材的高通量缺陷檢測

    *無圖案晶圓平面度測量

    *晶圓翹曲&弓形檢測

    *晶圓邊緣幾何尺寸測量和缺陷檢測

    *整體和局部晶圓形貌測量

半導體行業樣冊下載，請直接掃描二維碼注冊獲取

請長按下方二維碼

關于 LMI Technologies

作為3D掃描和在線檢測的全球領導者，LMI Technologies 致力于為各個行業不同的用戶開發快速、準確且可信賴的3D智能檢測技術，獲殊榮的LMI公司的FactorySmart? 激光、快照和線共焦傳感器幫助客戶提高生產效率和生產質量。和接觸式測量方式或者2D視覺系統不同，我們的產品大大消除復雜性和有效降低實施成本。

如需了解更多關于LMI Technologies檢測解決方案，聯系我們mkt_china@lmi3d.com或訪問www.lmi3d.com探討智能3D技術的可能性。

上海：021-54410711

深圳：0755-26900433

蘇州：0512-87182787