高精密對位平臺

凱福科技源自臺灣技術團隊研發的自有品牌"YARAK"高精密對位平臺在高端設備上已得到廣泛的推薦和使用。產品規格涵蓋150mm、160mm、180mm、200mm、250mm、350mm、450mm、550mm，更大盤面尺寸我們可按要求定制。

XXY對準平臺，也稱為XYθ（Theta）平臺或UVW對位平臺，專為高精度對位設備而設計，它在XY平面中移動并圍繞XY平面的中心旋轉。我們提供常規的8種型號的XXY對位平臺，小尺寸的重復定位精度為2μm，大規格的為3μm，這些型號的線性行程為±5 mm，大尺寸的可達±10mm。另外，XXY平臺可以圍繞XY平面的中心旋轉到±3°，水平負載從15KG到100KG。

     XXY對位平臺特點：

• 尺寸結構多樣化， XXY對位平臺現有空心及實心兩種設計，可滿足用戶不同的設計需求

• 薄型設計節省空間-采用Mini stage XYθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構

• 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度

• 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用

• 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度

• 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能

• 高精度、高剛性、穩定性保障，實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量

• 可水平或倒置安裝

XXY對位平臺（uvw對位平臺） 、視覺對位平臺廣泛應用于光學測量儀器，晶圓對準，LCD面板檢測，半導體處理，激光切割和鉆孔，復合機等領域。