泓格半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專用烤箱的溫度控管
使用泓格DALI轉(zhuǎn)換器(DGW-521),連接客戶的熱處理系統(tǒng)(Heating System)與DALI溫控器,使客戶的熱風(fēng)多層爐烤箱,更具節(jié)能性以及高穩(wěn)定性。在手機(jī)、平板、大尺寸面板、車用面板等各種不同生產(chǎn)需求下,克服面板溫度制程上的瓶頸,提供面板大廠更具彈性的生產(chǎn)條件。
案例介紹
此客戶為臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)烤箱設(shè)備廠,利用烤箱的光與熱相關(guān)技術(shù),提供PCB電路板、FPD面板與觸控、半導(dǎo)體、電子組裝、印刷、涂裝、鞋業(yè)等各大產(chǎn)業(yè)的高精度生產(chǎn)設(shè)備。而此案例則為面板制程的熱風(fēng)多層爐烤箱的溫度監(jiān)控實(shí)例分享。
嚴(yán)苛的制程條件,烤箱溫度成為質(zhì)量與良率的關(guān)鍵因素
在TFT-LCD大尺寸面板制程中,許多涂布材料須經(jīng)過烘烤制程,例如:光阻涂布后預(yù)烤、顯影后光阻固烤、配向膜涂布后預(yù)烤(Pre-bake)、配向膜固烤、框膠預(yù)烤。在這些程序中,需要進(jìn)行熱處理,其溫度則越低越好,且針對不同的程序,其適合的溫度也有所差異。例如:清洗后干燥和光阻涂布后預(yù)烤溫度須為 90~120℃,配向膜涂布后預(yù)烤和彩色濾光片光阻硬化與燒成溫度應(yīng)在190~250℃間。
為達(dá)成上述條件,所采取方式有批量式和單片式電熱板輸送帶(Hot Plate Conveyor)等兩種,過去往往會因?yàn)橹瞥痰臏囟冗^高,使得UV膠在固化過程中產(chǎn)生黃化現(xiàn)象降低面板透光度,而影響良率;除TFT LCD外,智能型手機(jī)和平板計算機(jī)爆發(fā)性成長,加上LCD TV、NB、iPad等產(chǎn)品的熱銷,與LTPS、IGZO、OLED、裸視3D、Touch Panel等面板產(chǎn)品的多元化,因此更增添了制程上的復(fù)雜度,而烤箱溫度的穩(wěn)定,則成為質(zhì)量與良率的關(guān)鍵。
ICP DAS DALI網(wǎng)關(guān),PLC與DALI燈控模塊之間的橋梁
在此案例中,客戶所使用的熱風(fēng)多層爐靠內(nèi)部數(shù)百顆燈管來達(dá)成加熱機(jī)制。為了讓燈管可隨制程變化,做到隨時調(diào)節(jié)、轉(zhuǎn)變,且維持穩(wěn)定可靠,客戶選擇了DALI燈控模塊進(jìn)行燈管的管理,并采用不受極性影響的電子式安定器,精密控制燈管輸出功率。然而,熱風(fēng)多層爐所使用的PLC支持 Modbus RTU通訊協(xié)議,無法接收DALI燈控模塊的DALI通訊協(xié)議,因此選擇泓格DGW-521 DALI網(wǎng)關(guān)來連接PLC與DALI燈控模塊,進(jìn)而達(dá)成溫度管理與燈管異常監(jiān)控的需求,維持制程條件與良率質(zhì)量的管控。其系統(tǒng)架構(gòu)圖如下:
結(jié)語
過去熱風(fēng)多層爐烤箱市場為國外廠商所壟斷,此客戶制造的熱風(fēng)多層爐烤箱,突破長期需要仰賴從國外進(jìn)口主要設(shè)備的困境,且符合提高質(zhì)量與降低成本的要求,大大提升中國臺灣光電產(chǎn)業(yè)的競爭力,因此該客戶目前是中國臺灣唯一具有Array/CF/Cell加熱設(shè)備供應(yīng)能力的廠商,也是中國臺灣設(shè)備廠商TFT LCD唯一的供貨商。
泓格長期關(guān)注新技術(shù)研發(fā),產(chǎn)品項(xiàng)目完整,針對各種不同通訊協(xié)議的信息轉(zhuǎn)換需求,皆有可對應(yīng)的產(chǎn)品,因此能夠滿足客戶系統(tǒng)整合所需。從使用者的角度思考,通過大量累積的經(jīng)驗(yàn),泓格科技將持續(xù)提供各領(lǐng)域業(yè)者完善的產(chǎn)品與服務(wù)。
提交
泓格半導(dǎo)體廠晶舟存放機(jī)臺自動化應(yīng)用案例
泓格5G 邊緣計算控制器:GRP-2841M-5GE
泓格4G / 5G / 以太網(wǎng)網(wǎng)關(guān):GRP-2841M
泓格網(wǎng)絡(luò)型 I/O 模塊:ET-2217CI-4
泓格微型 (PoE) Ethernet 模塊:tET-AD2、tPET-AD2